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工具軌跡の精度

超精密加工を必要とする分野では、機械加工だけの仕上げによる形状(設計)精度の維持が必要になる。当然、CAM側の加工トレランスや加工ピッチも小さく追い込んでいくが、通常の5~10μmの精度の加工では顕れなかったスジや面の荒れが、超精密加工機では加工面に顕れることがある。

これは、下図に模式的に示した例のように、CADで形状の定義の際に、CADが連続しているまたは接していると許容する幾何的公差であっても、CAMのトレランスを小さく設定したことで、CAMが隙間または段差と認識して精密に且つ忠実に加工パスを生成し、更に加工機がそれに追従して動作したことが要因である。

超精密加工に求められる、鏡面、非球面レンズ、等々では、加工機が有する分解能より1桁小さな幾何公差で連続性を持ったCAD形状を定義し、その公差と同じCAMのトレランス設定が必要であり、また、その加工パスを忠実に再現できる加工機とのバランスが不可欠である。

碌々産業における微細加工の実例