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微細加工ソリューション

ここでは、±0.001mm(1μm)程度の形状誤差まで仕上げ寸法を追い込むことを微細加工と定義します。その加工を従来のマシニングセンターと同じような作業手順で実現する、つまり学術研究テーマや世界最先端の企業で扱っているナノ(nm)レベルの特殊な世界まで踏み込まずに実現するための解決策をご提案します。

【必要な4大要素】

0.1μm以下の最小設定単位を持ち、±1μm以下の繰り返し位置決め精度を持った超精密加工機

  1. 機械本体各所に、温度計測箇所を持ち、補正を掛ける機能を持つことが望ましい
  2. 主軸の高速回転時の振れ変化量が(工具先端で)1μm以下に抑制されていること
  3. X/Y駆動軸に0.1μm以下の分解能を持つリニアスケール・フィードバックを持つこと

高精度なツーリングシステム

  1. 高速回転時の動的バランスに優れ、先端形状精度が高いこと
  2. 高速回転時の工具計測が0.1μm単位で行えること

0.1μmまたは0.01μmの誤差(トレランス)内でツールパスを出力できる高精度工具軌跡

  1. CADも同程度(以上の)のモデリング精度を持つ必要がある。特に面の接続精度には注意が必要
  2. CAMは64bitアプリケーションで、大規模(32Gb程度または以上)メモリーにデータ展開可能なこと。

温度変化による精度誤差を排除する環境制御

  1. 当該工作機械を取り巻く温度を±0.5℃以内の変化に抑える環境の確保
  2. オペレータの体温の影響を排除するために、遠隔からの基本操作を可能とする機能を持たせる